A limpeza de superfície de plasma é um processo no qual as impurezas e contaminantes da superfície da amostra são removidos pela criação de plasma de alta energia a partir de partículas gasosas. Foi projetado para várias aplicações, como limpeza de superfície, esterilização de superfície, ativação de superfície, alteração de energia de superfície, preparação de superfície para ligação e adesão, modificação da química de superfície.